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      NRL60A/90A/180A干式真空泵

      NRL60A/90A/180A干式真空泵

      簡要描述:● NRL系列在低溫領域下的均熱化。除PVD工藝外,尤其適用于希望提高流量,縮短排氣時間的重要工藝腔體的排氣。
      ● 低噪音、低振動
      ● 優良的耐腐蝕性

      產品型號: NRL60A/90A/180A

      所屬分類:真空泵

      更新時間:2024-12-07

      廠商性質:生產廠家

      詳情介紹

       

      特長
      ● NRL系列在低溫領域下的均熱化。除PVD工藝外,尤其適用于希望提高流量,縮短排氣時間的重要工藝腔體的排氣。
      ● 低噪音、低振動
      ● 優良的耐腐蝕性
      標準零部件采用高硬度并經過優異的防腐蝕特殊表面處理,降低對腐蝕性氣體排氣時泵體內部的腐蝕程度。
      ● 選購件
      可選購消音器、冷卻水流量開關、氮氣流量開關、泵溫傳感器。
       
      用途
      ◆ 活性氣體(CVD、刻蝕等)
      ◆ 排出非活性氣體(濺射鍍膜、蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等)
      ◆ 用于產生粉塵工藝中的排氣(Si單晶爐等)
      ◆ 作為前級泵使用(渦輪式分子泵、機械羅茨泵的前級泵)
      ◆ 冷凍干燥等水蒸氣排氣


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