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      日本ULVAC DIS-251渦旋干式真空泵技術參數

      發布時間: 2015-12-29  點擊次數: 1218次

      日本ULVAC DIS-251渦旋干式真空泵 一、特性

       

      • 雙繞式渦旋泵,含1 根軌道螺旋和2 根固定螺旋。

      • 可在大氣壓下實現操作運行。

      • 可實現高極限真空。

      • 低振動低噪音。

      • 維護周期可通過計時表控制。

       

       日本ULVAC DIS-251渦旋干式真空泵 二、應用

       

      • 分析設備

      • 氣體回收系統

      • 涂料設備

      • TMP 前級泵

      • 氦滲漏探測器

      • 半導體制造工藝

       

       日本ULVAC DIS-251渦旋干式真空泵 三、規格參數

       

       

      單位

      50Hz

      60Hz

      實際抽速

      L/min

      250

      300

      極限壓力

      Pa

      1.6

      馬達

      單相

       

      100/115/200/230V, 400W, 4P, 電容啟動運行

       

      三相

       

      200/208/230/380/400/415/460V, 400W, 4P

      滿載電流

      單相

      A

      4.8/2.6/2.4
      (100/200/230V)

      4.8/4.3/2.8/2.4
      (100/115/200/230V) 

       

      三相

       

      1.6/0.9/0.9/1.0
      (200/380/400/415V)

      1.9/1.9/1.8/1.0
      (200/208/230/460V)

      重量

      單相

      kg

      25.0

       

      三相

       

      23.0

      進出氣管道直徑

       

      進氣管KF-25 出氣管 KF-16

       

      四、外形圖

       

       

      五、泵數曲線

       

      六、對應電壓與認證

       

      電壓

      現行電壓

      CE 認證

      CSA 認證

      單相, 100V, 200-230V 
      115V (60Hz)

      標準

       

       

      三相, 200, 380V, 400V, 415V (50Hz) 
      200V, 208V, 230V, 460V (60Hz)

      標準