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      日本ULVAC CFB-1200復(fù)合分子泵技術(shù)參數(shù)

      發(fā)布時間: 2015-12-29  點(diǎn)擊次數(shù): 1090次

      日本ULVAC CFB-1200復(fù)合分子泵 一、產(chǎn)品簡介

              復(fù)合分子泵是靠高速轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)子攜帶氣體分子獲得超高真空的一種機(jī)械真空泵,是由渦輪分子泵和盤式牽引泵組合而成,它同時具有渦輪分子泵分子流時抽速大、壓縮比高,牽引泵高壓強(qiáng)時抽速大、壓縮比高的特點(diǎn),擴(kuò)展了分子泵的應(yīng)用范圍,廣泛應(yīng)用于光伏、照明、航天航空、半導(dǎo)體、能源、軍工、激光、家電、材料、汽車、科研等真空技術(shù)的各個領(lǐng)域。

       

       日本ULVAC CFB-1200復(fù)合分子泵 二、產(chǎn)品特點(diǎn)

              復(fù)合分子泵對被抽氣體無選擇性、無記憶效應(yīng);由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比,因此該泵不需要冷阱和捕油擋板即可獲得清潔的高真空和超高真空。

       

       日本ULVAC CFB-1200復(fù)合分子泵 三、主要性能指標(biāo)

       

      型號

      CFB-1200

      訂貨號

      3153

      3154

      進(jìn)氣口法蘭

      LF200

      CF200

      排氣口法蘭

      KF40

      抽氣速率

      L/s

      1200

      壓縮比N2/H2

      1×109/1×104

      極限壓強(qiáng)

      Pa

      5×10-7

      8×10-8   

      電機(jī)轉(zhuǎn)速

      rpm

      24000

      啟動時間

      min

      <5

      振動值

      μm

      ≤0.1

      前極泵

      L/s

      8-15

      冷卻水溫度

      ≤20

      泵體烘烤溫度

      <120

      冷卻水流量

      L/min

      1

      加熱器功率

      W

      <600

      加熱器輸入電壓

      V

      AC220

      安裝方向

      垂直±5°

      重量

      kg

      ~34

       

      四、特性曲線及安裝尺寸

       

       

      CFB系列復(fù)合分子泵安裝尺寸表

       

      型號規(guī)格

      CFB-1200

      進(jìn)氣口法蘭

      LF200

      CF200

      D1

      Ф240

      Ф253

      D2

      Ф267

      Ф267

      D3

      □167.6

      □167.6

      L1

      142

      142

      L2

      152

      152

      H1

      393

      393

      H2

      108

      108

      H3

      135.5

      135.5

      H4

      104

      104

      泵腿螺釘孔

      4-M8

      4-M8

      聯(lián)