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      日本ULVAC CFB-2000Z脂潤(rùn)滑分子泵技術(shù)參數(shù)

      發(fā)布時(shí)間: 2015-12-29  點(diǎn)擊次數(shù): 1093次

      一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介

              CFB-Z系列脂潤(rùn)滑分子泵其葉輪采用國內(nèi)*的變截面葉齒,軸承采用脂潤(rùn)滑陶磁精密軸承,以更高的可靠性實(shí)現(xiàn)了泵的任意角度安裝和清潔無油的高真空環(huán)境,廣泛應(yīng)用于光伏、照明、宇航、半導(dǎo)體、能源、軍工、激光、家電、新材料、汽車等真空技術(shù)的各個(gè)領(lǐng)域。

       

      二、產(chǎn)品特點(diǎn)

              

      • 由于對(duì)分子量大的氣體有很高的壓縮比,因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得高真空和超高真空。
      • 軸承采用脂潤(rùn)滑陶瓷精密軸承,可以實(shí)現(xiàn)泵的任意角度安裝。

       

      三、主要性能指標(biāo)

       

      型號(hào)

      CFB-2000Z

      進(jìn)氣口法蘭

      LF250

      CF250

      排氣口法蘭

      KF50

      抽氣速率

      L/s

      2000

      壓縮比N2/H2

      1×109/1×104

      極限壓強(qiáng)

      Pa

      5×10-7

      8×10-8   

      電機(jī)轉(zhuǎn)速

      rpm

      24000

      振動(dòng)值

      μm

      ≤0.1

      啟動(dòng)時(shí)間

      min

      <6

      使用軸承

      脂潤(rùn)滑陶瓷軸承

      前極泵

      L/s

      15

      冷卻方式

      水冷(風(fēng)冷)

      冷卻水溫度

      ≤25

      環(huán)境溫度

      <40

      冷卻水流量

      L/min

      1

      安裝方向

      任意角度

      重量

      kg

      ~30

       


      三、特性曲線及安裝尺寸

       

      CFB系列抗沖擊分子泵對(duì)大氣的抽速曲線 

      CFB系列抗沖擊分子泵對(duì)氮?dú)饧皻錃鈮嚎s比曲線

       CFB-2000Z安裝尺寸

       

      型號(hào)規(guī)格

      CFB-2000Z

      高真空法蘭

      LF250

      CF250

      D1

      Ф290

      Ф305

      D2

      Ф295

      Ф295

      D3

      274

      274

      L1

      114

      114

      H1

      317

      317

      H2

      262

      262

      H3

      97.5

      97.5

      H4

      282

      282

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