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      日本ULVAC CFB-1200F風冷復合分子泵技術參數

      發布時間: 2015-12-29  點擊次數: 1049次

      一、產品簡介

              CFB-F系列風冷復合分子泵的性能與復合分子泵一樣,適用于沒有水源且環境溫度不高的地方,或經常移動的排氣機組等。

       

      二、產品特點

              復合分子泵對被抽氣體無選擇性、無記憶效應;由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比,因此該泵不需要冷阱和捕油擋板即可獲得清潔的高真空和超高真空。

       

      三、主要性能指標

       

      型號

      CFB-1200F

      訂貨號

      3165

      3166

      進氣口法蘭

      LF200

      CF200

      排氣口法蘭

      KF40

      抽氣速率

      L/s

      1200

      壓縮比N2/H2

      1×109/1×104

      極限壓強

      Pa

      5×10-7

      8×10-8   

      電機轉速

      rpm

      24000

      啟動時間

      min

      <5

      振動值

      μm

      ≤0.1

      前極泵

      L/s

      8-15

      冷卻方式

      (環境溫度<37℃)

      泵體烘烤溫度

      <120

      加熱器功率

      W

      <600

      加熱器輸入電壓

      V

      AC220

      安裝方向

      垂直±5°

      重量

      kg

      ~35

       


      四、特性曲線及安裝尺寸

       

      CFB系列風冷復合分子泵安裝尺寸表

       

      型號規格

      CFB-1200F

      高真空法蘭

      LF200

      CF200

      D1

      Ф240

      Ф253

      D2

      Ф267

      Ф267

      D3

      □167.6

      □167.6

      L1

      142

      142

      L2

      152

      152

      H1

      467

      467

      H2

      70

      70

      H3

      178.5

      178.5

      H4

      151

      151

      泵腿螺釘孔

      4-M8

      4-M8