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      日本ULVAC CFB-3600(LF)渦輪分子泵技術參數

      發布時間: 2015-12-29  點擊次數: 1109次

      日本ULVAC CFB-3600(LF)渦輪分子泵 一、產品簡介

              CFB-3600渦輪分子泵的葉輪采用變截面葉齒,增強了葉片強度、減輕了轉子重量,縮短了啟動時間,降低了機械損耗,增加了使用壽命。

       

      日本ULVAC CFB-3600(LF)渦輪分子泵 二、壓縮比曲線和抽數曲圖

              

       

       

      日本ULVAC CFB-3600(LF)渦輪分子泵 三、主要性能指標

       

      型號

      CFB-3600

      進氣口法蘭


      LF400

      排氣口法蘭

      LF100

      抽氣速率

      L/s

      3600

      壓縮比N2/H2

      1×108/5×102

      極限壓強

      Pa

      2×10-6

      電機轉速

      rpm

      12600

      啟動時間

      min

      <10

      停機時間

      min

      <20

      振動值

      μm

      ≤0.15

      前極泵

      L/s

      30-70

      冷卻水溫度

      ≤25

      泵體烘烤溫度

      <120

      冷卻水流量

      L/min

      1

      安裝方向

      垂直±5°

      重量

      kg

      ~100